SST 硅烷法多晶硅生产工艺

SST开发出了生产高纯多晶硅和硅烷的独特工艺。

首先工业硅(Si mg)在流化床反应器中(基础原料四氯化硅STC,工业硅Si mg,氢气H2)进行氯氢化生产三氯氢硅TCS。 其后三氯氢硅TCS通过催化歧化转变成硅烷和四氯化硅。最后加热硅烷气通过化学气相沉积得到高纯多晶硅。

与传统多晶硅生产工艺相比,SST工艺操作简单。硅烷工艺只涉及硅和氢气,无氯,因此在硅晶价值链中有着巨大的发展空间。

凭借其高纯的多晶硅品质,适用于太阳能产业和电子产业。

 

硅烷法优势:

1.     高质量

2.     最佳的成本

3.     工艺简单易行