طريقة SST

 

طريقة SST لتصنيع البولي سيليكون

إنتاج البولي سيليكون هو عبارة عن عملية تنقية أو تنظيف والتي يمكن مقا رنتها في القصد و الغرض مع غسالة: ينقى السيليكون المعدني ذو درجة نقاء 98٪  عبرعمليات تنقية مختلفة إلى سيليكون "10N+"  (=9.999999999+). أي البولي سيليكون للطاقة الشمسية  مما يعادل درجة 9N و11N بالنسبة للبولي سيليكون الإلكتروني . تتيح عملية SST إنتاج كل من السليكون للطاقة الشمسية، والبولي سيليكون من الرتبة الإلكترونية.


كانت للطرق السابقة قيود للإنتاج و ذلك بسبب ارتفاع استهلاك الطاقة وصعوبة إنتاج أعلى جودة .


فقد طورت
SST طريقة تتميز بجودة عالية و استهلاك منخفض للطاقة مقارنة مع طرق الانتاج  التقليدية.

 

 

1.     الكلورة الهايدروجينية

يتم إنتاج TCS (ثالث كلورد السيليكون) في مفاعل المهد المميع من المواد الأولية المغذية  STC (رابع كلوريد السيليكون)، و mgSi (السيليكون المعدني)  و H2 (الهايدروجين). تضم هذه العملية طريقتين متزامنتين: أولا، تحويل STC إلى TCS، ثانيا، تخليق السيليكون من رتبة الصناعات المعدنية   mgSiو حمض الهيدروكلوريك HCI في تفاعل وسيط مع TCS.


يمكن
دمج طريقة SST للكلورة الهايدروجينية بسهولة مباشرة في منشآت سيمنز القائمة. إذا قارننا عمليات تحويل STC إلى TCS مع الكلورة المباشرة ، فإن الطاقة التى تستخدمها  SST  تقل ب% 70 من الإستهلاك العادي.

سهولة  في البداية و تشغيل آمن.

 

2.   التطاف                                                                                        

وتقوم هذه العملية على أساس التطافر الحفازمن TCS إلى المونوسيلان (% (25 و STC  ( % 75) في خطوة واحدة. تليه عملية تنقية المنوسيلان . بعد عملية أخرى للتنقية (اختياري)، تتم إزالة آثار العناصر مثل  الهايدروجين والنيتروجين والأوكسجين، يلبي المنتوج مواصفات غاز المونوسيلان أو مواصفات المواد من الرتبة الالكترونية .                                                                        

  1.     الترسيب الكيميائى الغازى



توفرSST أرقى و أحدث نظام الترسيب الكيميائى الغازى CVD الموجود حاليا في السوق.


المزايا:

 

  1. نظامنا CVD لا يتطلب أي استرداد غاز التهوية

 

  1.  في عملية الترسيب لا توجد منتجات ثانوية مثل STC أو HCI

 

  1. درجة حرارة الترسيب منخفضة مقارنة  بطريقة TCS ، والتي بدورها تقلل من استهلاك الطاقة بشكل كبير.

 

  1. انخفاض الاحتياجات المادية مع ضمان عملية كهربائية أوتوماتيكية عالية المستوى

 

  1. يتكون أقل من 2% من السيليكون الغير المتبلور

 

  1. يدمج بسهولة في النظم القائمة

 

 

تقدم  SST مفاعلات CVD في القدرات بين 18 و 27  أزواج ، و ذلك لضمان أقصى مرونة. تم تجهيز مفاعل

MS-CVD بنظام الإشعال بالجهد المتوسطة لضمان بدء التشغيل الآمن للمفاعل.