Der SST Polysilizium-Prozess

Bei der Herstellung von Polysilizium handelt es sich um einen Reinigungsprozess, zu vergleichen mit dem Sinn und Zeck einer Waschmaschine: aus metallurgischem Silizium mit 98% Reinheitsgrad wird über verschiedene Aufreinigungsprozesse "10N+" (=9.999999999+). Dabei entsprechen 9N solarem Polysilizium, und 11N entsprechen electronic grade Polysilizium. Der SST Prozess ermöglicht die Poduktion sowohl von solarem, als auch von electronic grade Polysilizium.

Bisherige Verfahren haben Begrenzungen durch hohen Energieverbrauch und die Schwierigkeit, höchste Qualiltät zu produzieren.

SST hat ein Verfahren entwickelt, welches sich durch gleichbleibend hohe Qualität und deutlich niedrigeren Energieaufwand im Vergleich zu herkömmlichen Produktionsmthoden auszeichnet.

1. Hydrochlorierung

TCS (Trichlorsilan) wird in einem Fließbettreaktor-Verfahren aus den Feedstock-Materialien STC (Siliziumtetrachlorid), mgSi (metallurgisches Silizium) und H2 (Wasserstoff) hergestellt. Dieses Verfahren beinhaltet zwei gleichzeitig stattfindende  Prozesse: erstens, die Umwandlung von STC in TCS, zweitens, die Synthese von mgSi und HCI durch eine Zwischenreaktion zu TCS.

Die SST Hydrochlorierung kann einfach und direkt in bereits bestehende Siemens-Anlagen integriert werden. Im Vergleich zu STC/ TCS Konvertern in Verbindung mit direkter Chlorierung arbeitet die SST Hydrochlorierung mit 70% weniger Energie-Verbrauch.

Start-Up und Operation sind einfach und sicher.

 

2. Disproportionierung

Der Prozess basiert auf katalytischer Disproportionierung von TCS zu Monosilan (25%) und STC (75%) in einem Schritt. Der Disproportionierung folgt eine Monosilan-Reinigung. Nach einem weiteren (optionalen) Aufreinigungsprozess, in dem Elemente mit Spuren von Nitrogen, Wasserstoff und Sauerstoff beseitigt werden, entspricht das Material electronic-grade Spezifizierung oder high-end Monosilane Gas Spezifizierung.

 

3. Chemical Vapor Deposition

MS-CVD

SST bietet das einzige hoch-effiziente CVD-System gegenwärtig auf dem Markt an.

Vorteile:

1. unser CVD-System benötigt keine Vent Gas Recovery

2. im Abscheidungsverfahren entstehen keine Nebenprodukte wie STC oder HCI

3. die Abscheidungs-Temeperatur ist im Vergleich zum TCS-Verfahren niedriger, was wiederum den Energieverbrauch enorm senkt. 

4. niedriger Materialbedarf mit gleichzeitig höchst verlässlichem und automatisiertem Verfahren

5. es entstehen weniger als 2% amorphes Silizium

6. einfach in bereits bestehende Anlagen integrierbar

SST bietet CVD Reaktoren in den Kapazitäten von 18 und 27 Paar an, um maximale Flexibilität zu gewährleisten. Das MS-CVD System ist mit einem Mittelspannungs-Zündsystem ausgestattet, um das sichere Hochfahren des Reaktors zu gewährleisten.