安全性

与多晶硅通常所用原材料相比,硅烷不被定义为额外的或极端的危险源。在通常的安全标准下硅烷可以安全处理。

->硅烷事故一般与硅烷气瓶盖处理不当有关。瓶中的高压导致硅烷气的外泄,形成爆炸体积。

->SST工艺中,压力极低,有可能所泄漏出的硅烷气的量很小,以致还没有积聚就立刻自燃了。

->无开闭端操作工序,比如在使用气瓶情况下不可避免地需要开启和关闭。

SST遵照德国工艺安全规范。如果在其它国家最低安全规范有所不同,SST还将额外遵照该国的安全规范。