Monosilan Sicherheit

Im Vergleich zu anderen Feedstock-Materialien, welche üblicherweise zur Herstellung von Polysilizium verwendet werden, stellt Monosilan keine zusätzliche oder außergewöhnliche Gefahrenquelle dar. Monosilan kann daher unter Berücksichtigung üblicher Sicherheitsstandards sicher weitererarbeitet werden:

→Unälle im Zusammenhang mit Monosilan lassen sich im allgemeinen auf die nicht sachgerechte Handhabung von Gasflaschen-Verschlusskappen zurückführen. Der hohe Druck in den Flaschen führt zu einem großen Ausstoß von Monosila Gas, so dass ein explosionsfähiges Volumen entsteht.

→Im SST Prozess sind die Druckverhältnisse extrem niedrig, die Menge an Monosilangas, die durch so eine Leckage austreten kann, ist so gering, dass sie umehend Feuer fängt, ohne dass sich größere Mengen an Monosilan anhäufenkönnten.

→Es wird prinzipiell nicht an "offenen Enden" gearbeitet, so wie es z.B. im Umgang mit Gasflaschen unumgänglich ist.

SST hält sich mindstens an Deutsche Sicherheitsnormen. Wenn Sicherheitsbestimmungen in anderen Ländern davon abweichen, sind diese darüber hinaus für SST ausschlaggebend.

     

 

SST Publikation über Monosilan-Sicherheit

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