تفتح تكنولوجية مفاعل وعاء الضغط  PTR طرق جديدة لإنتاج البولي سيليكون على أساس المونوسيلان  للزيادة في خفض التكاليف

تساهم تكنولوجية شميد لإنتاج البولي سيليكون على أساس المونوسيلان، بالمقارنة مع الطرق التقليدية التي تستخدم ثالث كلوريد السيليكون TCS بترسيب البخار الكيماوي CVD ، في تخفيض كلفة إنتاج البولي سيليكون.  ومع ذلك، للحصول على بلورة السيليكون ، يجب مواصلة سلسلة العمليات برمتها خلال الإنتاج.

 

تعتزم شركة  SST استخدام مفهوم المفاعل PTR ذو براءة اختراع لتقصير سلسلة العمليات تدريجيا، وذلك باستخدامها بلورات السيليكون في عملية متكاملة لإمكانيات الطاقة المحسنة وإدارة تدفق المواد للحصول على إنتاج تكنولوجي واقتصادي أمثل.  في الخطوة الأولى تنتج تكنولوجية  PTR السيليكون في شكل حبيبات، والتي يتم استخدامها في التبلور. هنا تحذف عمليات تحميل وتفريغ المفاعل CVD .

 

في المرحلة الثانية  يؤخذ السيليكون السائل ، كممهد للحبيبات، مباشرة من المفاعل PTR.  ينبغي دمج عمليات تغذية السيليكون المستقلة لإنتاج البلورة الأحادية أوالمتعددة ودون تحويلات لكي تكون متكاملة بشكل واضح في العملية الشاملة، أي أنه يجب ملئ المفاعل بالسائل . وهكذا تستغل مزايا مفاعل الإنحلال الحراري بالبلازما ، أي الإنتاج المستمر إلى حد كبير من السيليكون كحبيبات أو في شكل سائل، و توفير الطاقة المرتبطة به على النحو الأمثل. تتوقع SST إمكانيات التوفير تصل إلى 45٪ بالمقارنة مع تكاليف إنتاج السيليكون البلوري التقليدي.

PTR

 

مشروع ممول من الاتحاد الأوروبي و ولاية ساكسونيا الحرة، تحت عنوان " الانحلال الحراري بالبلازما للمونوسيلان"