PTR Technologie eröffnet neue Wege um bei der Monosilan-basierten Produktion von Polysilizium weiter Kosten einzusparen

Die innovative, auf Monosilan basierte Schmid Technologie zur Herstellung von Poly-Silizium erlaubt im Vergleich zur herkömmlich genutzten Trichlorsilan CVD, eine kostengünstige Herstellung von Poly-Silizium. Allerdings muss auf dem Weg zu einem Siliziumkristall ebenfalls die gesamte Prozesskette zu dessen Herstellung durchlaufen werden.

SST beabsichtigt mit dem patentierten PTR Reaktorkonzept die Prozesskette schrittweise zu kürzen, um so in einem integrierten Prozess die Möglichkeiten eines verbesserten Energie- und Materialfluss-Managements für eine technologisch und ökonomisch optimierte Produktion von Siliziumkristallen zu  nutzen. Die PTR Technologie wird in einem ersten Schritt Silizium in Granulatform liefern, welches in der Kristallisation eingesetzt werden kann. Prozesse zur Bestückung und Entladung den CVD Reaktors entfallen hier bereits.

In einem 2ten Schritt wird das im PTR, als Vorläufer des Granulats, entstehende flüssige Silizium direkt entnommen. Die bisher unabhängig von der Si-Feedstock-Herstellung betriebenen multi- oder monokristallinen Kristallisationsverfahren sollen dabei ausdrücklich und möglichst ohne vermeidbare Umwege in den Gesamtprozess integriert werden, d.h diese sollen flüssig befüllt werden. So lassen sich die Vorteile des Plasmapyrolysereaktors, also die weitgehend kontinuierliche Produktion und das Anfallen des Siliziums als Granulat oder in flüssiger Form und die damit verbundene Energieeinsparung, optimal nutzen. SST erwartet hier Einsparungsmöglichkeiten bis zu 45% gegenüber heute üblicher Kristallproduktionskosten.

PTR

 

Finanziert aus Mitteln der Europäischen Union und des Freistaates Sachsen unter dem Titel „Plasmapyrolyse von Monosilan"