Die Vorteile des Schmid-Prozesses

Schmid-Prozess vs. Siemens-Prozess
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Schmid Silicon Technology (SST)

Einstufige Disproportionierungsreaktion von TCS zu Monosilan mit anschließender Pyrolyse von Monosilan zu Silizium und Wasserstoff:
4 HSiCl3 = 3 SiCl4 + SiH4
SiH4 = Si + 2 H2

Optimal abgestimmte Prozesstruktur hinsichtlich der Herstellungsstufen für TCS, Monosilan und

Siemens Prozess

Reduzierung von TCS mit Wasserstoff zu Silizium und Chlorwasserstoff:

HSiCl3 + H2 = Si + 3 HCl

ca. 70-75% der weltweiten Polysilizium-Produktion

Vorteile der Schmid-Technologie

  • Durch geradlinige Prozessstruktur ist der Prozess einfacher zu beherrschen
  • Monosilan als Produkt für die Dünnschichtindustrie verfügbar
  • Keine Nebenprodukte / kein Abgasgemisch im CVD-Reaktor
  • Kein Abgas-Rückgewinnungssystem erforderlich
  • Hydrochlorinierungsreaktor (FBR) vergleichbar einfach zu handeln
  • Hydrochlorinierungsprozess (FBR) umfasst beide TCS-Herstellprozesse (Konvertierung von STC zu TCS und HCL und direkte Chlorinierung von Silizium und HCL zu TCS)
  • Keine Handhabung von HCL während des Prozesses
  • Geringer Energieverbrauch auf Grund von niedrigeren Temperaturen im CVD und TCS Prozess sowie der vereinfachten Prozessstruktur
  • Hohe Ausbeute von bis zu 80%
  • Disproportionierungsprozess (TCS zu Monosilan) entfernt zusätzlich Unreinheiten, z.B. Bor und Metalle