PTR Technologie eröffnet neue Wege um bei der Monosilan-Produktion weiter Kosten einzusparen
Der traditionelle Siemens CVD Prozess benötigt u. a. ein komplexes Abgasrückgewinnungssystem und wird, auf Grund der steigenden Anzahl von Siliziumstäben, im Design und Silizium-Handling, immer anspruchsvoller.
Deshalb bietet die PTR-Technologie der Silizium-Industrie kosteneffiziente und integrierte Lösungen für die Silizium- und Kristallherstellung.
SST beabsichtigt mit dem patentierten PTR einen großen Schritt in Richtung grid parity zu leisten. Das Reaktorkonzept ermöglicht es, Produktionsschritte wie:
- die Filament Herstellung
- das Laden und Entladen von CVD Reaktoren
- die gesamte Prozesskette bis zum Aufschmelzen des Polysiliziums zur Rekristallisation, auf Grund des flüssigen Siliziums (oder Silizium- Granulat) als Produkt
zu eliminieren.
Dieses patentierte Reaktordesign kann höchst flexibel eingesetzt werden und erlaubt es SST am Silizium/Wafer Interface die Kristallisationsanlagen direkt aus dem Reaktor zu befüllen.
PTR Prozess Schritte / Resourcen
Die 2te Generation der Pilotreaktoren soll 2011 in der Pilotlinie, der Schmid Pilot Production, installiert und betrieben werden. Mit dem Ziel einer vollständigen Prozessentwicklung wird die Produktionsserie PTR1000 kommerziell ab 2013 erhältlich sein.
Die PTR Technologie birgt ein enormes Potential zum Einsparen von Prozessschritten, Arbeitskraft, Energie und Investitionsausgaben. SST sieht hier Sparmöglichkeiten von 70%-80%.






