CVD MS Reactor

Schmid Silicon Technology liefert den CVD Reaktor mit allen Hauptkomponenten zur Abscheidung von Polysilizium aus Monosilan inklusive des Basic-Design-Paketes. Alternativ bietet Schmid Silicon Technology diesen Prozess auch als voll fuktionsfähige Turnkey Lösung an.

CVD-Reactor für die Polysilizium-Produktion

  • CVD MS Reaktor
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