Unsere Geschäftsfelder


Turnkey

Gesamtlösungen für:

  • Monosilan
  • Silizium
  • Upgrade von existierenden Siemens-basierenden Si-Fabriken

Einzel-Equipment

  • CVD Bell Jar Reactor
  • TCS-Hydrochlorierungs-System
  • Monosilan-Produktions-Systeme
  • Si-Cleaning
  • Filament-Cleaning

Produktion und Entwicklung

  • Monosilan (10-Jahres-Vertrag mit Linde AG)
  • Siliziumproduktion mit Langzeitliefervertrag
  • Forschung für interne und externe Kunden
  • Labordienstleistungen der Pilot Linie