Technologie

Schmid Silicon Technologie

Einstufige katalytische Disproportionierung von Chlorsilanen zu Monosilan mit anschliessender Pyrolyse:

4 HSiCl3 = 3 SiCl4 + SiH4; SiH4 = Si + 2 H2

Optimierte Struktur des Gesamtprozesses hinsichtlich Hydrochlorierung, Hydrierung, Disproportionierung and Pyrolyse

Haupttechnologien zur Herstellung von Polysilizium

A. SIEMENS Process

Reduzierung von TCS mit H2:

HSiCl3 + H2 = Si + 3 HCl

rund 70 - 75% der weltweiten Polysiliziumproduktion

B. Union Carbide Technologie

Mehrstufige Disproportionierung von TCS zu Monosilan mit anschliessender Pyrolyse:

4 HSiCl3 = 3 SiCl4 + SiH4; SiH4 = Si + 2 H2

20 - 25% der weltweiten Polysiliziumproduktion