First Silicon Out

Die Schmid Silicon Technology GmbH (SST) hat heute bekannt gegeben, dass am 12.6.2011 das erste Silizium in der Pilotanlage produziert wurde. Somit wurde der wichtigste Meilenstein in der Polysilizium Herstellung mit dieser neuen Technologie erreicht.

Gerade einmal 6 Wochen nach der chemischen Inbetriebnahme der auf Monosilan- Technologie basierenden Pilotanlage hat die Schmid Silicon Technology ihr erstes eigenes Polysilizium erhalten.

Nur drei Wochen nach dem Start der chemischen Befüllung am 30.4.2011, konnte das erste Monosilan hergestellt werden. Nach weiteren 3 Wochen, in denen Tests und Feineinstellungen vorgenommen wurden, konnte am 12.6.2011 das erste Polysilizium geerntet werden. 

Der Startup der Anlage selbst verlief problemlos, ebenso konnten die angestrebten Werte hinsichtlich Kapazität und Energieverbrauch während des Produktionsbetriebes erreicht werden.

Obwohl der erste Produktionsdurchlauf eigentlich darauf ausgerichtet war das System zu reinigen, erreichten die Werte der Oberflächenverschmutzung des abgeschiedenen Polysiliziums die 9N Spezifikation. Die Geometrie und auch die Oberflächenbeschaffenheit zeugen von einer einheitlichen Abscheidung. Die Bulk-Analysen werden mit den nächsten Produktionsläufen durchgeführt.   

Nach dem ersten Durchlauf wurde die Produktion zur Entleerung, Reinigung und Inspektion der Anlage unterbrochen. Zwischenzeitlich wurde die Anlage wieder angefahren.

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